真空泵的選用
1、真空泵的工作壓�(qiáng)�(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓�(qiáng)要求。如:真空鍍膜要�1×10-5mmHg的真空度,選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空�(shè)備真空度半個到一個數(shù)量級�
2、正確地選擇真空泵的工作�(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,如:擴(kuò)散泵�10-3~10-7mmHg,在這樣寬壓�(qiáng)范圍�(nèi),泵的抽速隨壓強(qiáng)而變�,其�(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍�5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作�(diǎn)�(yīng)該選在這個范圍之�(nèi),而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工�,但其工作壓�(qiáng)�(yīng)小于1×10-5mmHg為好�
3、真空泵在其工作壓強(qiáng)下,�(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中�(chǎn)生的全部氣體量�
真空泵的選用
4、正確地組合真空�。由于真空泵有選擇性抽氣,因�,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要�。如鈦升華泵對氫有很高的抽�,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽�,兩者組合起�,便會使真空裝置得到較好的真空度。另�,有的真空泵不能在大氣壓下工�,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓�(qiáng)低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使��
5、真空設(shè)備對油污染的要求。若�(shè)備嚴(yán)格要求無油時,應(yīng)該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附�、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不�(yán)格,可以選擇有油�,加上一些防油污染措�,如加冷阱、障�、擋油阱�,也能達(dá)到清潔真空要��
6、了解被抽氣體成�,氣體中含不含可凝蒸氣,有無�?;覊m,有無腐蝕性等。選擇真空泵�,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣�,應(yīng)該考慮在泵的�(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)�,如冷凝器、除塵器��
7、真空泵排出來的油蒸氣對�(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外�
8、真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及�(huán)境有無影�。若工藝過程不允許,�(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施�
9、真空泵的價格、運(yùn)�(zhuǎn)及維修費(fèi)用�
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